高纯隔膜阀主要应用在半导体、天然气、光伏太阳能、微电子、液晶面板、化工、医药等行业，适用于超高纯气体、腐蚀性气体、有毒性气体、易燃易爆等流体的使用。

FITOK凭借多年行业技术积累陆续开发出多款超高纯隔膜阀，以满足行业的高标准要求。

特征

 

• 适合超高纯应用领域；
• 金属—金属膜片—大气密封，安全可靠；
• 圆弧连接的流道设计，减小流道死区，最大程度的降低污染；
• Elgiloy合金膈膜具有高强度，高耐腐蚀性，超长的循环寿命；
• 可提供不同形式的手柄，及气动执行器；
• 直通型、角型、三通阀、四通阀可供选择；
• 两阀组、三阀组等特殊定制服务可提供。

类别

 

技术参数

 

注：阀座材质的使用温度均来自于实验数据，如需服务于更严格的环境，请联系我们。

品质保证

 

百级洁净室

超高纯工艺的产品将在百级洁净室内进行最后的焊接、装配、测试、包装等。

FITOK各类超高纯隔膜阀，满足半导体制造行业对流体系统元件的严苛要求。